共有281条记录
液体增压泵
产地:济南 更新时间:2019-12-04 15:08
电议
济南绿动科技发展有限公司
  • 公司名称:济南绿动科技发展有限公司
  • 工商注册号:370105200011736
  • 法定代表人:耿良华
  • 成立日期:2005-02-2315年
  • 注册资本:50万人民币
  • 企业类型:有限责任公司(自然人投资或控股)
  • 登记状态:在业
  • 登记机关:济南市天桥区市场监督管理局
  • 注册住所:山东省济南市天桥区桑梓店镇梓东大道1号鑫茂齐鲁科技城一期18号楼103号
  • 经营范围:增压泵的开发、生产、销售;机械设备(不含特种设备)的批发、零售、安装、维修;电气开关控制设备、计算机及软件、金属材料、电子产品、玩具、非专控通讯设备、文具用品、教学仪器的批发、零售。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
德国贝克真空泵U5.100
产地:天津 更新时间:2017-01-03 15:55
莱宝SV300真空泵排气过滤器
产地:东莞 更新时间:2016-06-08 14:29
电议
东莞市钥大真空设备有限公司
  • 公司名称:东莞市钥大真空设备有限公司
  • 工商注册号:441900001713904
  • 法定代表人:刘海萍
  • 成立日期:2013-09-107年
  • 注册资本:100万人民币
  • 企业类型:有限责任公司(自然人独资)
  • 登记状态:存续
  • 登记机关:东莞市市场监督管理局
  • 注册住所:东莞市寮步镇泉塘社区石大路63号4楼
  • 经营范围:产销、维修:真空设备及其周边配件、通用机械、五金配件。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)〓
苏州2XZ型旋片式真空泵
产地:上海 更新时间:2016-03-15 15:26
美国KINNEY凯尼KT型单级滑阀真空泵
产地:上海 更新时间:2015-11-13 13:52
电议
上海菲帝坷斯贸易有限公司
  • 公司名称:上海菲帝坷斯贸易有限公司
  • 工商注册号:310117002475330
  • 法定代表人:张雁海
  • 成立日期:2004-03-2716年
  • 注册资本:100万人民币
  • 企业类型:有限责任公司(自然人投资或控股)
  • 登记状态:存续
  • 登记机关:松江区市场监管局
  • 注册住所:上海市松江区小昆山镇崇南路6号1号房-163
  • 经营范围:汽配、五金交电、陶瓷制品、针织品、普通机械、化工产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、电子产品、通信设备、计算机软硬件、工艺美术品、文娱用品、服装鞋帽、建筑材料、润滑油、工业胶粘剂、清洗剂、日用百货、橡胶制品、塑料制品的批发零售。从事货物及技术进出口业务?!疽婪ㄐ刖嫉南钅?,经相关部门批准后方可开展经营活动】
QJ型系列深井潜水泵产品概述
产地:上海 更新时间:2015-07-27 12:02
罗茨水环真空机组
产地:上海 更新时间:2015-04-18 10:27
真空泵
产地:上海 更新时间:2014-11-25 12:53
自动注油器
产地:石家庄 更新时间:2014-10-29 16:44
电议
石家庄金泰福特机电有限公司
  • 公司名称:石家庄金泰福特机电有限公司
  • 工商注册号:130100000244607
  • 法定代表人:柯磊明
  • 成立日期:2009-04-2211年
  • 注册资本:50万人民币
  • 企业类型:有限责任公司(自然人投资或控股)
  • 登记状态:存续
  • 登记机关:桥西区市场监督管理局
  • 注册住所:石家庄桥西区胜利南大街华原北路1号
  • 经营范围:机电机械设备(特种设备除外)及配件、五金工具组装、加工、销售;电子产品、仪器仪表的销售;自营或代理各类商品和技术的进出口业务。(法律、法规及国务院决定禁止或者限制的事项,不得经营;需其它部门审批的事项,待批准后,方可经营)
医用纯无油空压机机头WSC32000/A
产地:上海 更新时间:2014-09-15 16:28
2XZ型旋片式真空泵系列
产地:上海 更新时间:2014-08-04 10:11
VE101普旭真空泵油
产地:苏州 更新时间:2014-04-08 09:17
循环水式真空泵SHZ-III
产地:南京 更新时间:2013-11-19 10:17
电议
南京科尔仪器设备有限公司
  • 公司名称:南京科尔仪器设备有限公司
  • 工商注册号:320106000051629
  • 法定代表人:李红宾
  • 成立日期:2005-05-2315年
  • 注册资本:200万人民币
  • 企业类型:有限责任公司
  • 登记状态:在业
  • 登记机关:南京市鼓楼区市场监督管理局
  • 注册住所:南京市鼓楼区马台街70号1号楼110室
  • 经营范围:仪器设备、玻璃仪器、电子产品、通信产品、计算机软硬件、建筑材料、化学试剂、化工原料、电工电料、水暖、阀门、机械设备销售。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
活塞式空压机
产地:北京 更新时间:2013-10-23 09:51
电议
北京复盛机械有限公司
  • 公司名称:北京复盛机械有限公司
  • 工商注册号:110000410070561
  • 法定代表人:刘玮
  • 成立日期:1993-12-2327年
  • 注册资本:4565万人民币
  • 企业类型:有限责任公司(外商投资企业与内资合资)
  • 登记状态:在业
  • 登记机关:北京市工商行政管理局昌平分局
  • 注册住所:北京市昌平区回龙观国际信息产业基地立业路15号1-5幢
  • 经营范围:生产压缩机械、制冷机械及其配套件和相关辅件、凿岩机械、柴油机驱动电源系统、喷砂机、喷浆机;提供自产产品的维修和售后服务;销售及租赁自产产品;从事上述同类产品及其配套件、专用油品的批发、佣金代理(拍卖除外)、货物进出口(不涉及国营贸易管理商品;涉及配额许可证管理商品的按国家有关规定办理申请手续)。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类目录的经营活动。)
供应瑞昶高压鼓风机HB-329
产地:深圳 更新时间:2013-09-28 16:25
高真空挡板阀
产地:温州 更新时间:2013-08-29 16:36
¥580
温州奥斯科阀门科技有限公司
  • 公司名称:温州奥斯科阀门科技有限公司
  • 工商注册号:330324000066925
  • 法定代表人:许孙花
  • 成立日期:2011-04-189年
  • 注册资本:500万人民币
  • 企业类型:有限责任公司(自然人投资或控股)
  • 登记状态:存续
  • 登记机关:永嘉县市场监督管理局
  • 注册住所:永嘉县瓯北镇码道北路62号东3、4间
  • 经营范围:阀门、液动泵、传动装置研发、生产、销售。
QJ5-38潜水泵250QJ
产地:上海 更新时间:2013-06-25 16:05
ZJ型罗茨泵系列
产地:上海 更新时间:2013-06-06 12:17
电议
上海岩湖泵业有限公司
  • 公司名称:上海岩湖泵业有限公司
  • 工商注册号:310118002839795
  • 法定代表人:吴爱平
  • 成立日期:2013-04-267年
  • 注册资本:50万人民币
  • 企业类型:有限责任公司(自然人独资)
  • 登记状态:吊销,未注销
  • 登记机关:青浦区市场监督管理局
  • 注册住所:青浦区沈砖路建新221号2幢2层B区277室
  • 经营范围:销售泵、阀门、机电设备、电气设备、电动工具、环保设备、水处理设备?!疽婪ㄐ刖嫉南钅?,经相关部门批准后方可开展经营活动】
2XZ系列旋片真空泵
产地:淄博 更新时间:2013-05-10 14:15
电议
淄博莱宝真空泵业有限公司
  • 公司名称:淄博莱宝真空泵业有限公司
  • 工商注册号:370303228826062
  • 法定代表人:潘海霞
  • 成立日期:2005-03-0415年
  • 注册资本:800万人民币
  • 企业类型:有限责任公司(自然人投资或控股)
  • 登记状态:在业
  • 登记机关:淄博市工商行政管理局高新区分局
  • 注册住所:山东省淄博市高新区万杰路121号302室
  • 经营范围:真空泵、真空设备、水泵、潜水泵、化工设备、阀门、压缩机、电机、水处理设备、矿用设备的生产、销售。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)**
3G三螺杆泵
产地:沧州 更新时间:2013-05-03 08:09
进口泵法国Pollard防爆真空泵
产地:深圳 更新时间:2013-04-23 17:44
电议
深圳市诚拓贸易发展有限公司
  • 公司名称:深圳市诚拓贸易发展有限公司
  • 工商注册号:440301105235204
  • 法定代表人:金小洁
  • 成立日期:2011-03-079年
  • 注册资本:50万人民币
  • 企业类型:有限责任公司
  • 登记状态:存续
  • 登记机关:深圳市市场监督管理局
  • 注册住所:深圳市南山区西丽龙珠大道郁金香家园4栋B座2-8A
  • 经营范围:国内贸易,进出口业务(法律、行政法规禁止的项目除外,法律、行政法规限制的项目须取得许可后方可经营);企业股权投资。
供应不锈钢磁力泵
产地:上海 更新时间:2013-04-16 10:31
¥2500元
上海西罗亚泵业制造有限公司
  • 公司名称:上海西罗亚泵业制造有限公司
  • 工商注册号:310114001695538
  • 法定代表人:苏孙芳
  • 成立日期:2006-02-2714年
  • 注册资本:300万人民币
  • 企业类型:有限责任公司(自然人投资或控股)
  • 登记状态:存续
  • 登记机关:嘉定区市场监管局
  • 注册住所:上海市嘉定区安亭镇联群村曹安路4397号
  • 经营范围:水泵、电机设备、阀门、给水设备、机械配件、控制柜、水泵电器配件的生产、加工、销售?!疽婪ㄐ刖嫉南钅?,经相关部门批准后方可开展经营活动】
供应高真空送料齿轮泵
产地:无锡 更新时间:2013-03-12 20:28
DLSB-FZ低温循环真空泵
产地:郑州 更新时间:2013-02-27 10:23
SZ系列水环式真空泵
产地:温州 更新时间:2013-02-25 10:01
电议
永嘉县弘凌泵阀有限公司
  • 公司名称:永嘉县弘凌泵阀有限公司
  • 工商注册号:330324000022834
  • 法定代表人:徐孙锟
  • 成立日期:2008-09-2412年
  • 注册资本:518万人民币
  • 企业类型:有限责任公司(自然人投资或控股)
  • 登记状态:存续
  • 登记机关:永嘉县市场监督管理局
  • 注册住所:永嘉县瓯北镇浦西村
  • 经营范围:阀门、泵制造、销售。
JZJX系列旋片真空机组 真空泵
产地:长沙 更新时间:2013-02-20 09:24
¥100
长沙天耀真空设备有限公司
  • 公司名称:长沙天耀真空设备有限公司
  • 工商注册号:430103000117734
  • 法定代表人:王永征
  • 成立日期:2013-01-107年
  • 注册资本:20万人民币
  • 企业类型:有限责任公司(自然人独资)
  • 登记状态:存续
  • 登记机关:长沙市望城区食品药品工商质量监督管理局
  • 注册住所:长沙市望城区月亮岛街道润和星城56栋2009室
  • 经营范围:真空设备、真空泵的销售、研发、设计及售后服务。(不含前置审批和许可项目,涉及行政许可的凭许可证经营)
低流量的电磁泵
产地:东莞 更新时间:2013-01-02 20:10
SZ型单级水环真空泵
产地:上海 更新时间:2012-12-21 09:57
电议
上海真空泵厂有限公司
  • 公司名称:上海真空泵厂有限公司
  • 工商注册号:310118001860854
  • 法定代表人:杨秋虹
  • 成立日期:1998-09-2922年
  • 注册资本:1035.9万人民币
  • 企业类型:有限责任公司(自然人独资)
  • 登记状态:存续
  • 登记机关:青浦区市场监督管理局
  • 注册住所:青浦区白鹤镇外青松公路3516号
  • 经营范围:生产加工各类真空设备、真空机械、电动机,从事货物及技术的进出口业务?!疽婪ㄐ刖嫉南钅?,经相关部门批准后方可开展经营活动】
HSJ660-46
产地:黄山 更新时间:2012-11-23 13:03
¥14360
黄山市诚誉工业泵制造有限公司
  • 公司名称:黄山市诚誉工业泵制造有限公司
  • 工商注册号:341000000027347
  • 法定代表人:洪灶成
  • 成立日期:2010-01-2110年
  • 注册资本:100万人民币
  • 企业类型:有限责任公司(自然人投资或控股)
  • 登记状态:存续
  • 登记机关:黄山市屯溪区市场监督管理局
  • 注册住所:安徽省黄山市屯溪区九龙工业园昱山路6号
  • 经营范围:螺杆泵产品、液压配套设备生产、销售。
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  • 阿朗2.8亿美元出售真空泵业务 普发真空接手 日前消息阿尔卡特朗讯(下称“阿朗”)宣布,计划以2亿欧元(C114注:约合2.8亿美元)将其真空泵解决方案和仪器业务出售给德国普发真空技术股份公司(PfeifferVacuumTechnologyAG,下称“普发真空”)。 阿朗的真空技术业务包括真空泵、检漏仪、真空计、等离子传感器、阀门、法兰和配件。这笔交易涉及该业务在安纳西(Annecy)的总部和13家主要的专注于阿尔卡特(ADIXEN)产品销售和服务的子公司,预计将于12月31日完成。 普发真空首席执行官曼弗雷德·本德尔(ManfredBender)评价这一收购称:“我们很高兴有机会成为真空解决方案领域的全球领导者。阿尔卡特是真空产品和泄漏检测仪器的领先供应商。阿尔卡特产品系列能够与我们完美结合。除此之外,我们得以扩大国际销售和营销网络,特别是在进入亚洲市场方面取得进步?!? 作为战略转型的一部分,阿朗正在执行专注于经营的计划,它将注意力集中在长期战略核心业务,而在其他方面则与合作伙伴合作,并剥离将被其他可以充分利用其投资组合和人才成为真空领域领导者的公司最好定位以进一步发展的业务。 此举将使阿朗战略性地聚焦于其在IP、光通信、3G、LTE服务以及业务使能(ApplicationEnablement)等下一代技术领域的投资,同时使客户的真空设备需求继续得到满足。
  • 罗茨真空泵的特点 罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于1944年首先出现于德国,是为适应在10~1000Pa压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵使用。 根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵(机械增压泵)和高真空多级罗茨泵。国内用量最多的为中真空罗茨泵。罗茨真空泵与其它油封式真空泵相比有以下特点: 1、在较宽的压力范围内有较大的抽速; 2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速; 3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染; 4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感; 5、压缩比较低,对氢气抽气效果差; 6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。罗茨真空泵近几年在国内外得到较快的发展。在冶炼、石油化工、电工、电子等行业得到了广泛的应用。
  • 真空泵选型方法 选用真空泵时,需要注意下列事项: 1、真空泵的工作压强应该满足真空 设备 的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求110-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常 选择 泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为510-4~510-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于110-5mmHg为好。 3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备 工艺 过程中产生的全部气体量。 4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空 装置 得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。 5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。 6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗?;页?,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。 7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。 8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 9、真空泵的价格、运转及维修费用。 水环式真空泵的选择 一、泵类型的确定   泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。   泵工作时,需要注意以下两个方面: 尽可能要求在高效区内,也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行,不仅效率极低,而且工作很不稳定,易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言,在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象,产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏,以致泵无法工作。 根据以上原则,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高,单级泵往往不能满足,或者,要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量,即要求性能曲线在较高真空度时较平坦,可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。F 二、根据 系统 所需的气量选择真空泵)   初步选定了泵的类型之后,对于真空泵,还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照有关公司网页真空计算公式。   面对各种型式的水环式真空泵及 压缩机 ,我们特将其各自特点收集如下,以利于用户 选型 : 真空泵一览表 名称型号 抽气速率 L/s 极限真空Pa 配用功率kW 旋片真空泵2X(Z)型旋片式真空泵 0.5~70 6 10-2 0.55~5.5 XD、X单级旋片真空泵 2.8~150 2 10-2 0.37~15 X型单级旋片真空泵 30~150 6 4~11 往复真空泵W型往复真空泵 32~300 2000 4~30 55~600 2000 5.5~45 罗茨真空泵ZJ型罗茨真空泵 30~5000 5 10-2 0.75~55 70~3000 5 10-2 1.1~30 滑阀真空泵H型滑阀真空泵 8~600 1 1.1~55 70~600 1 7.5~55 2H型滑阀真空泵 8~150 0.1 4~15     液环真空泵2BE1、CBF水环式真空泵 2~450 m3/min 3.3 103 7.5~710 2BE1型双级水环式真空泵 5~320 m3/min 3.3 103 11~380 2BV 型水环式真空泵 0.3~8.3 m3/min 3.3 103 0.81~15 2SK型双级水环式真空泵 0.4~30 m3/min 3.5 103 2.2~55 S、SK型水环式真空泵 0.67~25 m3/min (3.5~4) 103 1.5~55 SK型水环式真空泵 0.4~120 m3/min (8~15) 103 1.1~185 SZ、SK型水环式真空泵 1.5~27 m3/min (5~14) 103 5.5~75 SK、2YK型水环式真空泵 5~280 m3/min (5~14)104 22~380 FSK型水环式真空泵 3~9 m3/min (5~14) 103 7.5~22 YL型液环式真空泵 5~25 m3/min 9 104 30~132 真 空 泵机组JZJ型罗茨、旋片真空泵机组 30~1200 (1~5) 10-2 1.3~26 JZJ1型罗茨、旋片真空泵机组 70~1200 (5~10) 10-2 4.3~22.5 JZJS型罗茨、水环真空泵机组 70~600 25~650 7~39.5 JZJ1S型罗茨、水环真空泵机组 150~600 25~650 9.7~24.7 JZJH型罗茨、滑阀真空泵机组 300~1200 10-1 11.5~26 2BW4型水环真空泵成套机组 10~95 m3/min 103 45~185
  • 根据系统所需的气量选择真空泵   初步选定了泵的类型之后,对于真空泵,还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。   面对各种型式的水环式真空泵及压缩机,我们特将其各自特点收集如下,以利于用户选型 代号 主要特点 极限真空度 mmHg 工作真空度 mmHg 抽速范围 m3/min 密封形式 SK 国内设计单级水环真空泵,结构简单、维修方便。目前国内主流的低真空水环式真空泵。 -700 -300~-650 0.15~120 盘根、 机械密封 2SK 国内设计双级水环真空泵,相当于两台 SK 水环泵串联使用,比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国内主流水环式真空泵。 -735 -300~-700 1.5~30 盘根、 机械密封 2BV 采用西门子先进技术,机泵同轴,结构紧凑,效率高,真空度高,性能稳定,将逐渐替代 SK 、 2SK 系列 0.4~6m3/min 抽速的水环真空泵。 -735 -300~-700 0.45~8.33 机械密封 2BE1 采用西门子先进技术,效率高,真空度高,性能稳定,将逐渐替代 SK 、 2SK 系列 6~120m3/min 抽速的水环真空泵。 -735 -640 -300~-700 -300~-600 5~400 盘根、 机械密封 SZ 50 年代苏联技术,效率低,能耗大, 80 年代初已被淘汰,主要应用于老用户。 -640~-700 -300~-650 1.5~27 盘根 SZB 50 年代苏联技术,效率低,能耗大, 80 年代初已被淘汰,主要应用于水泵引水,目前已被 SK 系列水环泵替代。 -600 -300~-550 0.33~0.66 盘根 2SY 主要应用于水环压缩机,最大排气压强为 0.6MPa - - 6~30 机械密封 2YK 结构基本与 2SK 系列相同,可以用被抽介质作为工作液,极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。 -755 -300~-720 1.5~30 机械密封
  • 真空泵市场及应用领域的变化和发展 真空泵是一个量大面广的产品,产量很大,产值不高,但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。真空泵从高/超真空到粗/低真空,其产品大致可分14大类: 高/超真空——低温泵、分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵。 中真空——干泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸气喷射泵。 粗/低真空——单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵。 真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。 目前,全球真空泵市场的年销售额约20亿美元,年增长率在7%左右。 我国生产真空泵的厂家很多,全部真空泵的年销售额大约在1、5亿元左右,仅相当于美国Kinney公司一家真空泵的年销售额。通过对全球真空泵市场的分析我们可以看出,各类真空泵的市场及应用领域都在不断变化和发展。我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础,国产真泵已经在各个不同领域得到应用并经过验证,有些泵还出口国外,得到国外用户的认可并受到好评,应该说我国真空泵制造业在国内外市场仍然有着巨大的发展空间。 1、液环泵 虽然液环泵属于粗真空泵,但在我国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。在国外,液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%,仅次于干泵,所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我国投资建厂或建立销售网络,不断扩大在我国的市场份额。由于液环泵大部分是铸件,加工要求也不高,属劳动密集型产品,所以国产液环泵在价格上有竞争优势,关键是要改进设计,缩小体积,减轻重量,提高效率,降低能耗。 2、滑阀泵 由于滑阀泵比较耐用、可靠,国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵,但是滑阀泵铸件重,加工工作量较大,所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场,必须进一步降低泵的振动噪声,杜绝喷油和漏油,提高滑阀泵长期运行的可靠性。 3、直联旋片泵 随着真空技术在各个应用领域的不断扩大,直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多,加工装配工作量很大,价格又很低,所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关,价格又远比国外的泵便宜,所以国产泵仍然有竞争优势,关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题,确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠,同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。 4、罗茨泵 从国外罗茨泵生产情况来看,国外几家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他们各家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超过5%,这5家总计才20%,罗茨泵产量不大,但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前,国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统,为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵,所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场,这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声,彻底解决轴封漏油问题,改进泵的外观质量,提高泵内的光洁度和清洁度。另外,还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz,更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性。 目前,国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快,技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子,从而使压缩热得平衡,所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求,这种泵可以串联使用,一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵,所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。目前,这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。 5、分子泵 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩 复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。 6、干泵 国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。据统计,目前国产干泵的应用还不足1%,国内半导体工业用的干泵全部从国外进口,其价格十分昂贵。所以,我国应大力研究开发干泵,使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。
  • 水环式真空泵工作原理 水环式真空泵 (简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器可达270~670Pa。 水环式真空泵 也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力。    水环式真空泵 最初用作自吸水泵,而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等, 水环式真空泵 得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展, 水环式真空泵 在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于 水环式真空泵 中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,因此,水环泵应用日益增多。   如图:在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中指示的方向顺时针旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的上部分内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的上部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。   综上所述, 水环式真空泵 是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的,因此它属于变容式真空泵。 水环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点: 结构简单,制造精度要求不高,容易加工。 结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。 压缩气体基本上是等温的,即压缩气体过程温度变化很小。 由于泵腔内没有金属磨擦表面,无须对泵内进行润滑,而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。 吸气均匀,工作平稳可靠,操作简单,维修方便。 水环式真空泵 也有其缺点: 效率低,一般在30%左右,较好的可达50%。 真空度低,这不仅是因为受到结构上的限制,更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液,极限压强只能达到2000~4000Pa。用油作工作液,可达130Pa。   总之,由于 水环式真空泵 中气体压缩是等温的,故可以抽除易燃、易爆的气体。由于没有排气阀及摩擦表面,故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体和气水混合物。有了这些突出的特点,尽管它效率低,仍然得到了广泛的应用。
  • 微型真空泵与气体采样泵的区别 通常我们把能产生负压的小体积泵都称作微型真空泵,但在产品选型时却要严格区分。 真正意义上的微型真空泵(如VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列等)是可以长时间对密闭容器抽真空的泵,它可以带动较大的负载。而气体取样泵(如PM系列)工作时泵腔内外的压差较小,所以它带的负载是很小的。就是因为对带载能力的要求不同,造成微型真空泵与气体采样泵所选用的零配件有很大差别。 微型真空泵对隔膜和电机都有很高的要求。对这两个主要零件而言,疲劳强度、可靠性、寿命等技术指标都是要求在带负载的条件达标,而不同于气体采样泵只要求在极轻载荷下达标(试验证明,负载稍大气体采样泵就容易损坏)。因此,两种微型泵的成本差别较大。 综上所述,如果把微型真空泵用于气体采样,势必得到很高的可靠性,但价格偏高;如果把气体采样泵用在负载稍大的场合,可靠性、寿命就大打折扣,甚至无法正常工作,虽然它在价格上有优势。选型时最好向技术部门咨询清楚,以便兼顾成本和性能。有些气体采样泵也能达到较好的真空度和流量指标,但是,达到这个技术指标和能在这个指标下长时间可靠工作是两回事。比如,某微型泵能达到30KPa的真空度,那么当泵的抽气口经常处在这个真空度下时,泵是否能可靠工作?因此,泵达到的指标和它能可靠工作的指标是不一样的,请购买时一定向经销商确认。
  • 微型真空泵、微型气泵详细选型说明 随着我国的仪器仪表工业的蓬勃发展,体积小巧、无油环保的微型真空泵、微型气泵得到越来越广泛的使用。如何才能在规格繁多的微型泵中选择最适合您的产品呢? 根据微型泵的用途,可以分为三类来讨论: 一、如果只是用微型气泵输出压缩空气。 简单地说,就是只用它来打气、充气,泵的抽气口基本不用。这种情况比较简单,按输出压力从大到小依次可?。? PCF5015N 、 FAA8006 、 FAA6003 、 FAA4002 、 FM2002 、 FM1001, 当然还要参考流量指标等相关技术参数。 二、如果是以下几种情况,则应该选用 PHW600B 或 WAA 系列产品。 1 、用微型泵抽气或抽真空,但有时会有液态水进入泵腔。 2 、要求微型泵既能抽气又能抽水。 3 、主要用微型泵抽水,但不希望在抽水前靠人工加 “ 引水 ” (有些水泵在工作前需要人工加入一些 “ 引水 ” ,这样泵才能把低处的水抽上来,否则泵无法抽水甚至损坏。),即希望泵有 “ 自吸 ” 功能。 PHW600B 或 WAA 系列产品的长处就在于,没有接触到水时,它就抽真空,形成真空后靠气压把水压上来,而后开始抽水。 4 、用微型泵抽水,但有些时候可能泵没有水可抽,处于 “ 干转 ” 状态。某些传统水泵畏惧 “ 干转 ” , “ 干转 ” 甚至会损坏泵。而 PHW600B 或 WAA 系列产品本质上是一种复合功能泵,它集成了真空泵和水泵的功能,有人把它叫作 “ 真空水泵 ” 。因此,在没有水的情况下,它会抽真空,有水的时候它就抽水。无论是抽气状态还是抽水状态,都属于正常工作范畴,也就无所谓 “ 干转 ” 损伤。 三、如果是用微型泵抽气,情况稍微复杂些,大致可从以下两个方面来决定选型: ( 一 ) 、判断微型泵抽气端工况 用于抽气的微型泵分为两类:气体采样泵和微型真空泵。虽然通常总是不加区分地把它们简单统称为微型真空泵,但从技术角度二者是有区别的,选型时更要特别注意。 简而言之,气体采样泵只能带小负载(即:泵抽气端阻力不能太大),但价格便宜;严格意义上的微型真空泵可以带大负载(抽气端允许大阻力,甚至完全堵塞),但价格稍贵。二者具体区别可以详见我公司网站上 “ 试验数据 ” 中的文章《 关于微型真空泵与气体采样泵的区别 》,不再复述。 气体采样泵有: PM 系列(具体型号如: PM950.2 、 PM850.5 、 PM8001 、 PM7002 、 PM6503 );微型真空泵有: VM 系列、 VAA 系列、 PK 系列、 PC 系列、 VCA 系列、 VCC 系列、 VCH 系列、 PH 系列、 FM 系列、 FAA 系列、 PCF 系列,这些系列下的所有规格都是真正的微型真空泵,如 VM7002 、 VAA6005 、 PC3025 等。 对于微型泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定,把它与泵的技术参数 “ 进气口允许最大阻力 ” Por 值( “ 进气口 Por” 的定义参见 VM 系列详细参数 )比较就可以知道选型是否合适。通常根据经验采用简便的方法确定,比如下述几种情况都属于负载较大(即泵的抽气端阻力较大),只能在微型真空泵范围内选型: 在泵的抽气端要接很长的管道,或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭,或管道内孔很小 ( 比如小于 ∮ 2 毫米 ) ; 在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件; 泵抽气口与密闭容器连接,或该容器虽未密闭但进气量较??; 泵抽气口与吸盘连接,用于吸附物体(如集成块、精密工件等); 泵的抽气端与过滤容器相连,容器口放置滤网,用于加速液体过滤。 ( 二 ) 、判断微型泵排气端工况 以上都是在讨论微型泵抽气端阻力的问题,根据这些判断条件已经缩小了选型的范围,但还必须考虑排气端阻力问题,这样才能最终确定可选范围。 在实际应用中,微型真空泵面临的排气状况是不一样的: 一类是排气很顺畅,直通大气; 另一类是排气阻力较大,比如在排气管路上有阀、细小弯管、大阻尼传感器、非专用的消音器、在液面以下排气、气体排往密闭或半密闭容器等。在现代设计制造中,把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。 “ 排气口允许最大阻力 Por 值 ” ( “ 排气口 Por” 的定义参见 VM 系列详细参数 )这一参数就是标定泵的排气能力,让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。 简单地说,对于排气阻力大的系统,我们的选型范围是: FM 系列、 FAA 系列、 PCF 系列;对于排气阻力小的系统,选型范围是: VM 系列、 VAA 系列、 PK 系列、 PC 系列、 VCA 系列、 VCC 系列、 VCH 系列、 PH 系列。 根据以上几个步骤,我们已经可以确定微型泵的选型范围了。在划定的几个可选系列中,再根据我们对流量和真空度的要求就可以确定具体的型号了。 注意参数选择要留有余量,特别是流量参数。泵接入气路系统后,由于管道、阀门等气路元件要造成压力损失,会衰减流量,因此得到的流量小于泵的标称流量。 以下是其他与选型相关的问题,请根据使用情况考虑: 1 、带负载启动问题。 如果微型气泵在启动前它的抽气口就已经存在真空或排气口已经存在压力,则要考虑泵的另一技术参数:进气口最大启动负载 Pis 值,排气口最大启动负载 Pos 值(这两个值的定义参见 VM 系列详细参数 )。典型应用事例就是使用微型气泵维持容器内的真空或正压状态,当容器内的真空或正压低于设定值时,需要泵通电启动,高于设定值时?;?。 可以在自身能达到的极限真空度下启动的产品有: VM 系列、 VAA 系列、 PK 系列、 PC 系列、 VCA 系列、 VCC 系列、 VCH 系列、 PH 系列; 可以在自身能达到的最大输出压力下启动的产品有: FM 系列、 FAA 系列、 PCF 系列。 该性能对制造商的技术水平要求较高。 2 、微型泵的介质温度问题。 根据通过泵的介质气体的温度,选择要普通型的还是要高温型的。 3 、微型泵的可靠性问题。 根据微型泵出故障后产生后果的严重性而定,完全根据自己的要求。优质品的平均无故障连续运行时间都大于 1000 小时,有的高到数千小时。特别注意,这项参数是在满负荷、不间断的运行状态下测定的,是最恶劣的工况,如果实际使用不是满载或连续运行,该数值会高一些,高多少视泵的工况而定。该性能完全是考验制造商的技术实力,从产品外观上可以看出一些,如采用特制电机而非普通低价电机、体积相当的情况下重量较重等。根据产品价格也可略知一二。 4 、微型泵的电磁干扰问题。 如果有精密电路控制微型泵,视电路抗干扰能力而定,可能需要订购低电磁干扰的微型泵。
  • 涡旋无油真空泵技术的现状与发展趋势 论文摘要:本文总结了涡旋无油真空泵技术的发展与现状,其内容包括从涡旋技术的发展到涡旋技术在各行业的应用;从涡旋无油真空泵的原理到涡旋无油真空泵的制造技术及技术指标;从世界各国涡旋真空泵的发展到我国涡旋真空泵的发展现状,对涡旋无油真空泵的状况有一个系统的介绍。   1、引言   涡旋的概念相当久远,20世纪初世界上就已经有了涡旋技术的专利。但由于当时技术水平的限制,涡旋机构制造不出来,涡旋的概念也就被淡忘了。1973年涡旋机构被重新提起并制造出第一台模型机构,使这项技术实际应用成为可能。涡旋机构的可靠性高、运行平稳、噪音极低、节省能源等潜力和巨大优势马上引起了冰箱行业的重视和迫切需求,大受行业领先者青睐,迅速被投入工业化应用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司的涡旋压缩机技术与产品弓领了世界涡旋技术实用化的浪潮,带动了如冰箱、空调等诸多行业的技术进步和产品的更新换代。   今天涡旋技术已经由初期的应用在压缩机行业推广到真空泵制造业,实现了全无油、运行更平稳、噪音更低、更加节省能源的涡旋清洁真空获得技术的实用化。人们应用涡旋概念与原理制造出了对真空应用仪器设备和环境没有污染,并且抽速、寿命、能耗等指标均优于普通油泵的单级、双级涡旋无油真空泵系列产品。   上个世纪90年代初,世界上首台涡旋真空泵推向市场,涡旋技术由此开始作为一种新型真空获得技术在世界范围内被推广应用。到目前为止,世界上涡旋真空泵的生产厂家集中在美国、日本和欧洲,以日本的Anest1wata、美国的Varian、德国的Bush等为代表。产品包括了自0.25L/S-1OL/S系列产品,有些15L/S或更大抽气量的产品也在试验阶段。   2、涡旋无油真空泵(0-Ifree scroll vacuu pump)的特点与应用领域   清洁的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境。自能够创造真空环境开始,人们就试图采用不同手段达到清洁真空的效果。时至今日,清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、柱赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品。在现有的无油真空泵当中,涡旋无油真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有运行平稳、噪音低、节省能源、重量轻、体积小的特点并已经被广泛应用到下述科学研究与生产领域:①半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备;②真空冶金行业——真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备;③科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器;④医疗设备——牙科仪器、透析机;⑤生物制品行业——材料提纯、药品制备;⑥包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。   3、涡旋无油真空泵工作原理、技术指标以及与普通油泵的对比   涡旋无油真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的基本抽气机构。例如在双级涡旋无油真空泵中,有两个方向对应的固定涡旋盘,一个位于两个涡旋盘之间的转动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出、完成排气循环。   众所周知,涡旋无油真空泵(Oilfree scrolI vacuum pump)与普通油真空泵相比具有显著的特点。下面以普通旋片真空泵为例,说明其差别:   表1涡旋无油真空泵与普通直联式旋片真空泵技术指标的对比   技术指标旋片式油真空泵涡旋无油真空泵   抽速(l/s)2.0,4.0,82.0,4.4,8.7   极限真空度(Pa)0.6 1.0   使用寿命(h)40000 40000   大修间隔(h)8000 10000   冷却介质油空气   噪声(dB) 7560   质量(kg) 7041   电机相数 31   电压(V)220/380 220   功率(kw)1.1 0.6   转数(r/min)1400 1437   4、涡旋无油真空泵的优点及其能给用户解决的问题   4.1涡旋无油真空泵性能优越   涡旋真空泵的主要优点是间隙晓、泄漏少,具有较高的压缩比,在较宽的陋力范围内有稳定的抽速,工作压力范围宽;由于压缩腔容积的变化市连续的,因而驱动扭矩变化小,功率变化小,振动噪声低,可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。   4.2涡旋无油真空泵解决了污染与振动等基础、共性问题   由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响,如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油阀题。真空镀膜设备的镀膜工艺中,在20~40Pa真空条件下镀膜时,如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染,影响成膜量。半导体晶片制造工艺当中使用油泵与使用干泵相比,成品率存在509l左奋涸的差距,并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染??蒲б瞧餍幸涤绕涫窃诜治鍪砸瞧餍幸?,采用油泵对测试结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采涸用涡旋无油真空泵作为前级真空泵的作用也相当明显。另外涡旋无油真空泵消酒除了普通油泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼。   4.3涡旋无油真空泵使系统制造与运行成本降低   为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染,需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子;系统运行过程当中还需要定期清洗除油;有的需要定期更换真空泵油。采用涡旋无油真空泵第一不需要加冷阱之类捕油机构、第二不需要换真空泵油、第三振动更小、运行更平稳、第四能耗降低、第五重量更轻、第六突破了油泵使用范围的限制,上述优点使涡旋无油真空泵成为普通旋片油真空泵的更新换代产品。   5、结束语   国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺当中和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的清洁真空环境,但是清洁真空获得设备如冷凝泵、柱奏泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等目前都没有形成可靠先进的批量国产产品。进口涡旋无油真空泵作为一种在中国正式投放市场不超过3年的新产品,由于本文前述的价格、市场的开拓和用户的认识程度等原因,没有形成良性循环。这样,一方面是迫切的市场需求,另一方面从价格与技术双方面看没有合适产品,造成了极大的市场缺口。   毫无疑问价格适中、性能可靠的涡旋无油真空泵将成为适合中国市场要求产品的主流,大力发展无旋无油真空泵势在必行。研制符合中国市场要求的涡旋类及其它无油真空泵系列产品及其检测技术手段也成为中国真空获得行业进一步发展的一个契机。   为解决我国科学研究和新材料、半导体等行业发展面临的技术手段存在的基础、共性问题,近年来已经不断有业内专家向国内介绍涡旋无油真空泵技术及其发展现状,国外涡旋无油真空泵生产厂家与代理对中国市场的开发使其在中国市场的销量在逐年增长。国内真空行业相关企业也开展了基础、应用研究及小规模试制涡旋无油真空泵生产等不同阶段的探索,只是由于技术基础、激励机制、研发手段、资金投入的限制,研发工作进展不是非???。   产品质量、稳定可靠性、以及技术推广与市场开拓规划、原则、手段等也是问题。因此涡旋无油真空泵系列产品下一步产业化技术研发与市场开发是企业必须解决的两大问题。随着研发手段、资金投入、市场开拓问题的解决,涡旋无油真空泵将会打开市场,从而提高整个真空获得行业的技术水平。成功的涡旋无油真空泵系列产品研发与市场开发模式也将为我国其他清洁真空获得设备如冷凝泵、样寨磊、爪式覆以殛隔膜泵等提供有效的借鉴。
  • 无油涡旋真空泵技术的发展与应用 【关键词】无油涡旋,真空泵,发展与应用 【论文摘要】涡旋的概念相当久远,20世纪初世界上就已经有了涡旋技术的专利。但由于当时技术水平的限制,涡旋机构制造不出来,涡旋的概念也就被淡忘了。 一、引言 涡旋的概念相当久远, 20 世纪初世界上就已经有了涡旋技术的专利。但由于当时技术水平的限制,涡旋机构制造不出来,涡旋的概念也就被淡忘了。 1973 年涡旋机构被重新提起并制造出第一台模型机构,使这项技术实际应用成为可能。涡旋机构的可 * 性高、运行平稳、噪音极低、节省能源等潜力和巨大优势马上引起了冰箱行业的重视和迫切需求,大受行业领先者青睐,迅速被投入工业化应用。 Trance 、 Hitachi 、 Copland 等著名公司的涡旋压缩机技术与产品引领了世界涡旋技术实用化的浪潮,带动了如冰箱、空调等诸多行业的技术进步和产品的更新换代。 今天涡旋技术已经由初期的应用在压缩机行业推广到真空泵制造业,实现了全无油、运行更平稳、噪音更低、更加节省能源的涡旋清洁真空获得技术的实用化。人们应用涡旋概念与原理制造出了对真空应用仪器设备和环境没有污染 , 并且抽速、寿命、能耗等指标均优于普通油泵的单级、双级无油涡旋真空泵系列产品。 上个世纪 90 年代初,世界上首台涡旋真空泵推向市场,涡旋技术由此开始作为一种新型真空获得技术在世界范围内被推广应用。到目前为止,世界上涡旋真空泵的生产厂家集中在美国、日本和欧洲,以日本的 Anestta 、美国的 Varian 、德国的 Busch 等为代表。产品包括了自 0.25L/S 到 10L/S 系列产品,有些 15L/S 或更大抽气量的产品也在试验阶段。 二、无油涡旋真空泵的特点与应用领域 清洁的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境 . 自能够创造真空环境开始 , 人们就试图采用不同手段达到清洁真空的效果 . 时至今日 , 清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、住赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品 . 在现有的无油真空泵当中 , 无油涡旋真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有下述特点 : ① . 无油,无摩擦 —— 真空腔内无油,非接触,无磨损,不产生微粒尘埃污染,可获得清洁真空; ② . 抽气量大 —— 双涡旋盘,结构与单级相比相同直径泵抽气容积为 2 倍,节省能源; ③ . 抽气效率高 —— 带有 3-4 个抽气单元,压差??;大气与真空之间由 O 型圈密封,泄漏低; ④ . 非接触 , 良好平衡 , 力矩影响小,噪音低,振动??; ⑤ . 结构简单紧凑,相同尺寸下,运动半径小,运行平稳; ⑥ . 体积小,维修方便,维护费用低; ⑦ . 采用空气冷却,无需水冷。 目前无油涡旋真空泵的应用领域为 : ① . 半导体行业 —— 薄膜制备设备、半导体器件封装设备; ② . 科学仪器行业 —— 同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器; ③ . 机械设备行业 —— 材料制备设备、真空检测、材料提纯设备; ④ . 化学工业; ⑤.医疗设备 —— 牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备; ⑥.包装行业 —— 食品、药品、生物制品等包装设备。 三、无油涡旋真空泵工作原理、技术指标以及与普通油泵的对比 无油涡旋真空泵主要由 5 个部件组成: ①.动静涡旋盘付与基座; ②.曲轴; ③.密封垫; ④.防自转机构; ⑤.电机。 无油涡旋真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交 * 组装在一起,两者之间由防自转机构保证 180 。相位差,这样结合组成的一对涡旋盘付构成了无油涡旋真空泵的基本抽气机构。静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线 ( 即横截面涡旋线上的几个点 ) 上接触形成对称的几对月牙腔,动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动,使静涡旋盘与动涡旋盘的接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气。例如在双级无油涡旋真空泵中,有两个方向对应的静涡旋盘,一个位于两个涡旋盘之间的动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸人、排气口排出,完成吸气、压缩、排气的循环。曲轴每转一转,就有一组新的月牙腔形成,所以无油涡旋真空泵的吸气、压缩、排气循环以近 1500 转 / 分的频率被连续重复 , 对被抽气体形成包容和强制输送。 众所周知,无油涡旋真空泵 (Oil free scrloo vacuum pump) 与普通油真空泵相比具有显著的特点。下面以普通旋片真空泵为例,说明其差别: 表 1 无油涡旋真空泵与普通直联式旋片真空泵技术指标的对比 技术指标 旋片式油真空泵 涡旋无油真空泵 抽速( 1/s ) 2.0 , 4.0 , 8.0 2.0 , 4.4 , 8.7 极限真空度( pa ) 0.6 1.0 使用寿命 (h) 40000 40000 大修间隔( h ) 8000 8000 冷却介质 油 空气 噪声( dB ) 75 60 质量( kg ) 70 41 电机 相数 3/1 1 电压 (V) 220/380 220 功率 (KW) 1.1 0.6 转数 (r/min) 1400 1437 四、无油涡旋真空泵的优点及其能给用户解决的问题 1 .无油涡旋真空泵性能优越 无油涡旋真空泵的主要优点主要包括: ① . 密封性良好 , 没有向机械泵那样直接连接吸、排气腔的泄漏通道 , 容易密封 , 容易达到较高的真空度。 ② . 回转半径小,动静涡旋盘相对滑动速度仅为旋片真空泵的 1/7 左右,动静涡旋盘之间的动密封相对容易,有利于延长泵的使用寿命。 ③压缩进程必较缓慢,有 2 个或者 3 个压缩过程同时进行,压缩腔相对曲轴对称,这样泵的运转过程平稳、驱动力矩和气体冲击波动小,使泵的噪音和振动降低。 总而言之,无油涡旋真空泵结构简单、具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内有稳定的抽速,工作压力范围宽;动静涡旋盘之间间隙小、泄漏少,由于压缩腔容积的变化是连续的,因而驱动扭矩变化小,功率变化小 , 振动噪声低,可 * 性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。         2 .无油涡旋真空泵解决了污染与振动等基础、共性问题 由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响,如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油问题。真空镀膜设备的镀膜工艺中,在 20 ~ 40Pa 真空条件下镀膜时,如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染,影响成膜质量。半导体晶片制造工艺当中使用油泵与使用于泵相比,成品率存在明显的差距,并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染 . 科学仪器行业尤其是在分析测试仪器行业,采用油泵对测试结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采用无油涡旋真空泵作为前级真空泵的作用也相当明显。另外无油涡旋真空泵消除了普通油泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼。现有无油涡旋真空泵用户的使用情况也证明了这种泵的优越性和可 * 性。 3. 无油涡旋真空泵使系统制造与运行成本降低 为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染 , 需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子;系统运行过程当中还需要定期清洗除油;有的需要定期更换真空泵油 . 采用无油涡旋真空泵第一部需要加冷阱之类捕油机构、第二不需要更换真空泵油、第三振动更小、运行更平稳、第四能耗降低、第五重量更轻、第六突破了油泵使用范围的限制。这些优点使无油涡旋真空泵成为普通旋片油真空泵的更新换代产品。 五、无油涡旋真空泵的结构 无油涡旋真空泵主要部件为涡旋盘付 \ 曲轴和密封垫 . 该泵的抽气 —— 压缩 —— 排气机理是在动、静涡旋盘相互不接触的情况下,依 * 动、静涡旋盘相对转动形成吸气腔和压缩腔,将被抽气体排出,连续完成吸气、压缩和排气过程。在充分考虑抽气过程中发生热交换的情况下,尽量减少动、静涡盘问的径向和轴向间隙 , 可以提高抽速和极限真空度。 针对无油涡旋真空泵结构上存在着的运转过程中水分和杂质易积聚和轴承易磨损的弱点 , 加气镇阀是必要的选择。 结构上的改进主要有两点: ①.加气镇阀使极限真空度保持要求值 —— 进气压力 O.03MPa(G) 以下,流量 lOL/min 以下。 ②.轴承端面加双侧密封圈密封,有效防止轴承磨损。 在无油涡旋真空泵的设计过程中,需要解决的问题包括: ①.涡旋泵的 CAD 设计一一型线方程的确定及修正,初始角修正,运动模拟; ②.涡旋盘的加工一一加工精度、加工工艺间隙的大?。撼樗?、极限真空度; ③.涡旋盘的表面处理一一耐腐蚀、润滑、硬度、处理工艺、表面均匀性; ④.密封垫材料的选择与加工 —— 密封垫要求有弹性、耐磨、不产生微粒。 六、无油涡旋真空泵的使用 1 .安全注意事项 使用前与使用过程中应当注意的安全事项包括: 无油涡旋真空泵的抽气范围 ( 用于抽洁净气体。不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体、化学品、溶剂及粉末等 ) 。 安装要求 ( 安装在没有易燃、易爆物品、避雨、无蒸汽的安全场所 ) 。 安装在水平面上 ( 倾角小于 5 。 ) 。周围无灰尘、无铁屑、石块或木块。 一定要安全接地。一定要安装紧急制动开关。接线要由合格的电工完成 ) 。 在合适的工作环境温度 (5 ~ 40 ℃ ) 内工作。 正确安装使用 ( 接线或检查时必须切断电源,不能将手指或其他物品放人泵的气孔或冷却翅片的间隙中 ) 。 正确维修检验 ( 根据本说明书要求定期检查,泵彻底冷却后再进行维护与检验工作;由专业人士维修,不能改造此泵 ) 。 2 .安装方法 安装前要认真检查下述各项: ①.检查确认包装放置方向正确。 ②.检查确认产品为订购的型号。 ③.检查确认无破损。 ④.泵运转时拆掉进气口与排气口法兰。如果连续带法兰工作,会对泵引起损害。 安装时应注意: ①.安装在避雨、无蒸汽的场所,避免电击危险; ②.安装在通风良好、隔绝爆炸物、无腐蚀性和易燃气体及其他有关物体处。 ③.安装在坚实、平整面上 ( 倾角小于 5 。 ) ,阳光不能直射处。 ④.在规定环境温度范围 (5—40 ℃ ) 内工作。 要在真空室和进气口连线上安装截止阀和排气阀。这些阀用于开关无油涡旋真空泵时阻止泵中积存的碎屑被抽回真空室中??乇檬币裙乇战刂狗?。连接管路一定要洁净。建议使用软管连接,这样泵的振动不会传到真空室。连接排气管时要注意管的长度和尺寸。建议排气管长不超过 15 米,内径 25mm 。注意泵工作时排气管不能堵塞。注意排气压力不能超过大气压。 连线时必须首先断开电源,由合格的电工连线。泵必须提供外部?;?,如 8L/s 泵最小电路容量为单相、 18A ,最大分路电流断路器容量为 15A 。一定要安装推荐容量的电流断路器以避免电机烧毁,电线和地线截面积一定要超过 2mm2 。否则会引起损害或火灾。与电机接线端子连接的电线要配适当的圆圈形接头。一定要接地。否则可能引起电击或人身伤害。交货时连线电压为单相, 220 伏。 3 .无油涡旋真空泵的操作 —— 抽干燥气体 无油涡旋真空泵在初次启动或者长期不用时达到极限真空需要较长时间。应在关闭进气阀状态下连续抽气 6—8 小时,每小时打开进气阀 2 ~ 3 次,每次 3 ~ 5 秒。如果泵抽水或者高湿度气体 ( 相对湿度 ; 60 % ) ,水汽可能残留在泵中降低泵的性能。这时关闭泵与系统之间的截止阀,启动泵,运转时打开进气阀进大气几次,每次 3—5 秒,可以将泵中的水汽排出。泵工作时要拆去进气口法兰和排气口法兰,否则会对泵有损害。泵启动和关闭时要关闭截止阀,否则开关泵时泵中积存的碎屑会被抽回真空室中。重新启动泵时,启动前要开启进气阀进大气 3—5 秒,否则会造成泵中温度不平衡,导致泵失效。 无油涡旋真空泵的启动步骤包括: ①.关闭截止阀 ( 以免泵中积存的碎屑会被抽回真空室中 ( 带漏气阀开寸??袈┢? )) ; ②.打开泵开关; ③.开启截止阀 ( 检查确认真空泵已开启,使用漏气阀时要关闭漏气阀,抽真空室 ) 。 停泵步骤包括: ①.关闭截止阀 ( 避免泵中积存的碎屑被抽回真空室 ) ; ②.关闭泵开关。 4 .无油涡旋真空泵的操作 —— 抽水汽 (1) 抽水汽注意事项 无油涡旋真空泵的维护标准是以抽洁净气体为基础制定的,抽水汽标准不同。因此要注意下述各点: ①.抽水蒸汽泵的维护时间间隔必须缩短,因为水汽的温度、抽除量、抽除频率和水汽中物质成份对泵的工作都有影响。 ② . 抽水蒸汽时,要在规定温度下工作,进气温度必须低于 50 ℃。当被抽气体温度高于 50 ℃时,应当在无油涡旋真空泵与真空室之间的连接管路上安装冷却器或冷阱,以降低进气温度,使之低于 50 。进气温度高于 50 ℃会对无油涡旋真空泵造成损害。 ③.抽水汽时要加气镇阀,无油涡旋真空泵抽水蒸汽会导致水汽在泵内凝结。凝结的水汽会引起泵极限真空度降低,或者对泵造成损害。气镇阀不仅能抽水汽,还能维持极限真空。 (2) 气镇阀的使用注意事项 所谓气镇阀及其作用概念非常简单,就是在容积式真空泵的压缩室上开一小孔,装上一个调节阀。打开此调节阀启动无油涡旋真空泵,当动涡旋盘转动某一位置时,空气就通过小孔掺人压缩室以降低压缩比,从而使大部分水蒸气不至于凝结,和掺入的气体一起被排出泵外。这样就达到了抽水蒸汽的目的。而这个调节阀就是气镇阀。气镇阀的使用注意事项包括: ①抽水汽时,必须开启气镇阀抽气。如果气镇阀关闭抽气,水汽会在泵内积结,对泵造成损害。 ②.抽水汽后,必须在开启气镇阀状态下再抽气超过 l 小时,如果抽水汽后立即关闭气镇阀,水汽会在泵内积结,对泵造成损害。 ③.当给气镇阀口充氮气或干燥大气时,要将压力控制在大气压内,流量小于 lONL/min, 气压高会对泵造成损害。 ④.当被抽真空室内湿度高于 60 %时, — 定要开启气镇阀。 ⑤.一定要在泵开启前、关闭后,开启和关闭气镇阀,千万不能在泵工作过程中关闭气镇阀。泵工作时改变气镇阀工作状态 ( 开启或关闭 ) 会使泵损坏,造成人身伤害。 (3) 抽水汽时泵的操作 抽水汽时,泵的启动步骤包括: ①.关闭截止阀 ( 以免开关泵时泵中积存的碎屑会被抽回真空室中 ( 带漏气阀时要开启漏气阀 )) ; ②.打开气镇阀 ( 拆下丝堵,换上气体过滤器即可 ) ; ③打开泵开关; ④.开启截止阀 ( 检查确认真空泵已开启,使用漏气阀时要关闭漏气阀,抽真空室 ) 。 抽水汽时,停泵步骤包括: ①.关闭截止阀 ( 避免泵中积存的碎屑被抽回真空室; ②.关闭泵开关; ③.关闭气镇阀 ( 结束气镇阀工作时,拆下气体过滤器,用扳手轻轻拧上丝堵 ) 。 5 .无油涡旋真空泵的检查与维护 (1) 检查与维护注意事项 ①.无油涡旋真空泵为防止碎屑在泵中沉积,每天抽大气几次,每次 3 ~ 5 秒。 ②.要注意高温,在泵足够冷却后,再进行检查与维护。停泵后立即维修可能引起烧伤。 ③.检查与维护之前一定要切断电源。否则可能引起电击或被旋转物伤害。 ④.如果安装与工作条件差、工作环境温度超过规定,请缩短维护间隔?;肪澄露仁潜檬У闹饕跋煲?。标准维护间隔是以环境温度 5 ~ 40 ℃,年平均温度 25 ℃为基础制定的。 (2) 检查与维护内容要点 部件 检查点与注意点 检查时间间隔 轴承 异常噪声(听) 每天检查 新更换轴承 8000 小时 密封件如密封垫、 O 型圈 新更新密封件 8000 小时 6 .故障诊断与排除 几年来用户在无油涡旋真空泵的使用过程中,陆续发现了各种问题,也总结了问题解决的方法。归纳起来,不外乎下述各种。如果出现故障,可以参照下表排除之。如果自己不能解决问题,可以联系卖泵的经销商和生产单位。同时笔者欢迎用户提出使用中的问题,以利于无油涡旋真空泵的进一步改进。 七、结束语 国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺当中和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的清洁真空环境,但是清洁真空获得设备如冷凝泵、柱赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等目前都没有形成可 * 先进的批量国产产品。进口无油涡旋真空泵作为一种新产品,由于本文前述的价格、市场的开拓和用户的认识程度等原因,没有形成良性循环。这样,一方面是迫切的市场需求,另一方面从价格与技术双方面看没有合适的产品,造成了极大的市场缺口。 毫无疑问价格适中、性能可 * 的无油涡旋真空泵将成为适合中国市场要求产品的主流 , 大力发展涡旋无油真空泵势在必行。研制符合中国市场要求的涡旋类及其它无油真空泵系列产品及其检测技术手段也成为中国真空获得行业进一步发展的一个契机。 无油涡旋真空泵故障诊断表 现象 原因 解决方法 泵停转 开关异常 检修 边线松脱、短线 检修 电压下降 检查电缆长度和尺寸 电机异常 检修 泵异常 检修 极限真空度上不去 法兰口被刮伤 与当地经销商联系修理 管路被堵 加热除气或更换管路 管路漏气 检查管路连紧 抽入水或者溶剂 将进气口通大气抽几分钟,然后关闭进气口抽约 24 小时 O 型圈破损 更换 气镇阀堵赛 清洗气体过滤器或更换之 异常噪声、振动 连接件松脱 紧定连接 泵未放平 调平基础 异物进入泵中 检修 排气阀失效 检修 电机失效 检修 轴承损坏 与当地经销商联系换轴承 抽气口被堵 与当地经销商联系修理 为解决我国科学研究和新材料、半导体等行业发展面临的技术手段存在的基础、共性问题,近年来已经不断有业内专家向国内介绍涡旋无油真空泵技术及其发展现状,国外涡旋无油真空泵生产厂家与代理对中国市场的开发使其在中国市场的销量在逐年增长。国内真空行业相关企业也开展了基础、应用研究及小规模试制无油涡旋真空泵生产等不同阶段的探索,只是由于技术基础、激励机制、研发手段、资金投入的限制,研发工作进展不是非???。产品质量、稳定可 * 性、以及技术推广与市场开拓规划、原则、手段等也是问题。因此无油涡旋真空泵系列产品下一步产业化技术研发与市场开发是企业必须解决的两大问题。随着研发手段、资金投入、市场开拓问题的解决,无油涡旋真空泵将会打开市场,从而提高整个真空获得行业的技术水平。成功的无油涡旋真空泵系列产品研发与市场开发模式也将为我国其他清洁真空获得设备如冷凝泵、柱塞泵、爪式泵以及隔膜泵等提供有效的借鉴。 (源自:中国流体机械网)